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购买AZO、ITO靶材的注意事项

2019-08-14 17:07来源:蒂姆(?#26412;?#26032;材料科技有限公司作者:蒂姆(?#26412;?#26032;材料科技有限公司网址:http://www.alvog.tw浏览数:5

购买AZO、ITO靶材的注意事项

1、靶材密度,这个是较主要的,好的靶密度至少达到97%以上,所?#28304;?#23478;买回靶来以后可以根据重量体积来计算一下,靶的密度和理论块体的密度的比例有多少,低于90%不符合标准。
2、开裂问题,套磁靶很容易开裂,所?#28304;?#23478;一定要求用cu的背板,这个是必须的,另外靶材不宜太厚,小于5mm较好了。金属靶是不大会开裂的,否则它的密度肯定很差。
3、电导率对于AZO,ITO靶材来说非常重要的,买回来可以测测他们的电导率是多少,不同公司用的粉不同,电导率有很大差别,电阻率越小做出来的膜导电性肯定越好。


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