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磁性材料如何选择靶材厚度?厚度范围?原理是什么?

2019-08-14 16:59来源:蒂姆(?#26412;?#26032;材料科技有限公司作者:蒂姆(?#26412;?#26032;材料科技有限公司网址:http://www.alvog.tw浏览数:2

磁性材料如何选择靶材厚度?厚度范围?原理是什么?

一、磁性材料有哪几种?
主要包含铁钴镍锰4种,主要应用于高温超导材料和稀土发光材料方面。
铂、铁、钴、镍等的合金,铱锰、铁铂、铂镍等也是做磁性功能薄膜和磁性功能材料、磁记录等行业的必要材料。
二、磁性材料靶材厚度建议多少?
磁性材料像铁、钴、镍、锰等靶,?#35805;?#24314;议做薄些,1-2mm,厚度不超过4mm,否则不容易起辉。
三、厚度选择原理是什么?
原理:铁磁性靶材会对磁控靶的溅射造成影响,由于大部分磁力线从铁磁性材料内部通过,使靶材表面磁场减少,需要很高电压才能让靶面点火起辉。除非磁场非常的强,否则磁性靶材必须比非磁性材料要薄,才能起辉和正常运行
(永磁结构的Ni靶的典型值<4px,磁控靶非特殊设计最大值?#35805;?#19981;宜超过3mm,Fe,co靶的最大值不超过2mm;电磁结构的靶可以溅射厚一些的靶材,甚至可达6mm厚)。

正常工作时,磁控靶靶材表面的磁场强度为0.025T~0.05T左右;靶材溅射刻蚀即将穿?#36164;保?#20854;靶材表面的磁场强度大为提高,接近或大于0.1T左右。


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